AFM

一、原理

原子力显微镜通过检测待测样品表面和微小探针之间极微弱的原子间相互作用力，来研究物质的表面形貌、结构及性质。该仪器对样品表面粗糙度的分析有极高的分辨率，可达原子或接近原子级别。

二、设备型号、关键性能参数

设备型号：OXFORDAsylum Research MFP-3D

关键性能参数：

探针反馈噪音小于20pm(ADev,0.1-1kHz);Z方向扫描范围大于15μm,

闭环噪音小于0.25nm(ADev,0.1-1kHz);X,Y方向扫描范围120μm,

闭环噪音小于0.6nm(ADev,0.1-1kHz)最大可观测直径80mm,厚度10mm的样品。

三、应用

表面形貌（粗糙度）、力学和电学性质表征

表面电势