TEM

一、原理

球差校正透射电镜通过控制电子束的聚焦位置和形状，以及使用校正器来克服球差的影响，从而实现亚埃级的高分辨成像，获得原子的位置和排布情况；同时， Super X能谱系统及Mono EELS系统可获得相应的化学环境和电子结构信息。

二、设备型号、关键性能参数

设备型号：Themis Z

关键性能参数：

HAADF分辨率：≤ 0.06 nm（ 300 kV），≤ 0.140 nm（ 80 kV ）；具备Super X能谱仪系统，具备四分割式EDX探头；具备Gatan  GIF 965 ，拥有Dual EELS功能；EELS能量分辨率：≤ 0.25 eV (300 kV，激发单色器Mono)；≤ 0.85 eV (300 kV，未激发Mono)；

三、应用

原子结构、价态分析、元素分析、低剂量电子束成像