SEM

• 原理

利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

• 设备型号、关键性能参数

设备型号：Nova NanoSEM450

关键性能参数：

工作压力： 高真空（4×10-4Pa）

电子束分辨率：≤1.0nm @ 15kV   ≤1.4nm @ 1kV （二次电子）

着陆电压：50V-20kV

电子束流强度：0.6pA-200nA

能谱探测器：分析元素范围Be4~U92能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV

阴极发光光谱仪：光谱探测范围185-900 nm，具有角度分辨成像功能

三、应用

快速高分辨的表面显微结构成像

快速的元素分析表征