AES

• 原理

俄歇电子能谱（Auger electron spectroscopy，简称AES），是一种表面科学和材料科学的分析技术。是用具有一定能量的电子束（或X射线）激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构信息的方法。

• 设备型号、关键性能参数

设备型号：PHI 710

关键性能参数：

分析腔室最佳真空度^6.7X10^-8Pa

2.高分辨二次电子(SE)成像系统：

(1)肖特基场发射电子枪，与能量分析器同轴设计；

(2)能量范围：0.1 ~ 25 keV；

(3)最小束斑直径(SEI暗场分辨率)：＜ 3 nm @25kV, ＜lnA；

(4)SEI图像漂移(图像匹配校准)：＜±5 nm, 1 hour @ InA, 20kV；

(5)二次电子图像放大倍率；45 X (3kV) ~ 1000000X；

3.俄歇电子能量分析器：

(1)能量分析器类型：同轴筒镜式能量分析器(CMA)和电子枪同轴设计，可提供最全面的俄歇分析能力；

(2)电子能量侦测范围：30~2400eV；

(3)电子接收角度：42° ±6° ;

(4)能量分辨率:0.5%至0.1%连续可调;

(5)俄歇空间分辨率：＜8 nm @ 1 nA, 20 kV;

(6)俄歇元素灵敏度(Cu LMM) (0.5%分析器能量分辨率)：70 kcps © 1 nA, 10 kV； 700 kcps 010 nA, 10kV；

(7)俄歇元素灵敏度(Cu LMM) (0.1%分析器能量分辨率)：100 kcps 010 nA, 10 kV;

(8)俄歇信噪比：＞ 700:1 010 nA, 10 kV

三、应用

广泛应用于薄膜各层及界面的分析。