TOF-SIMS

• 原理

        飞行式二次离子质谱（TOF-SIMS）是超真空环境下向样品射入一次离子束，从样品的浅表层（1-3 nm）释放出二次离子。将二次离子导入飞行时间（TOF型）质谱仪，检测保留了表面成分化学结构的分子离子和部分碎片离子，就可以获取有关表面的元素构成和化学结构的信息。TOF-SIMS是一种调查技术手段，可探测元素周期表中的所有元素，可分辨同位素。此外，TOF-SIMS也可以提供质谱讯息；在样品XY维度上的图像信息；以及样品Z维度上的深度分布信息。

• 设备性能参数
  • 功能：元素构成和化学结构的信息
  • 工作压力：UHV
  • 分析用离子源：Bi；剥离离子源：EI源和Cs源；选配团簇离子源；
  • 可扩展应用于分析绝缘材料和生物医学材料；
  • 5轴样品架，温度-150℃～600℃。
• 应用
  • 有机和无机材料的表面微量分析
  • 直接来自表面的质谱
  • 表面的离子成像（2D，3D）