AES
俄歇电子能谱
- 原理
俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,简称AES),是一种表面科学和材料科学的分析技术。是用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应,通过检测俄歇电子的能量和强度,从而获得有关材料表面化学成分和结构信息的方法。
- 设备型号、关键性能参数
设备型号:PHI 710
关键性能参数:
分析腔室最佳真空度^6.7X10-8Pa
2.高分辨二次电子(SE)成像系统:
(1)肖特基场发射电子枪,与能量分析器同轴设计;
(2)能量范围:0.1 ~ 25 keV;
(3)最小束斑直径(SEI暗场分辨率):< 3 nm @25kV, <lnA;
(4)SEI图像漂移(图像匹配校准):<±5 nm, 1 hour @ InA, 20kV;
(5)二次电子图像放大倍率;45 X (3kV) ~ 1000000X;
3.俄歇电子能量分析器:
(1)能量分析器类型:同轴筒镜式能量分析器(CMA)和电子枪同轴设计,可提供最全面的俄歇分析能力;
(2)电子能量侦测范围:30~2400eV;
(3)电子接收角度:42° ±6° ;
(4)能量分辨率:0.5%至0.1%连续可调;
(5)俄歇空间分辨率:<8 nm @ 1 nA, 20 kV;
(6)俄歇元素灵敏度(Cu LMM) (0.5%分析器能量分辨率):70 kcps © 1 nA, 10 kV; 700 kcps 010 nA, 10kV;
(7)俄歇元素灵敏度(Cu LMM) (0.1%分析器能量分辨率):100 kcps 010 nA, 10 kV;
(8)俄歇信噪比:> 700:1 010 nA, 10 kV
三、应用
广泛应用于薄膜各层及界面的分析。