XPS

• 原理

X射线光电子能谱( X-ray photoecectron spectroscopy， XPS) 是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。通过测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能 binding energy为横坐标，相对强度为纵坐标可做出光电子能谱图。是一种通过一束入射到样品表面3~10nm 深度的光子束，检测材料表面信息的无损测量技术。

• 设备型号、关键性能参数

        型号：赛默飞ESCALAB Xi+

        关键性能参数：

• 微聚焦单色化Al Kα X射线光源：20μm~900μm连续可调

• 高能单色化Ag靶

• 荷电中和系统：磁透镜+同轴电子中和源+离轴低能离子/电子的双束中和源

• 氩团簇离子枪：具备单原子离子和团簇离子两种模式，团簇大小可调

• 用于电子成像和电荷中和的同轴电子枪：1~5eV，500~1000eV

• 快速高分辨平行成像: 空间分辨率优于1μm

• 变温样品台：室温~1000 K

• 拓展功能：UPS、ISS、REELS

• 应用

元素的定性，定量及价态分析

表面元素快速平行成像分析

材料纵向深度组成与结构分析