FT-NCT-C非接触霍尔载流子测试仪

FT-NCT-C非接触霍尔载流子测试仪具备非接触霍尔测试模块、飞行时间测试模块和微波光电导测试模块。其中，非接触霍尔测试模块采用微波源激发霍尔信号，基于霍尔效应实现载流子迁移率和载流子浓度的非接触测试；飞行时间测试模块基于飞行时间原理，采用脉冲激光的激发飞行时间信号，可测试载流子迁移率；微波光电导模块基于微波光电导衰减效应，采用脉冲激光激发，微波检测光电导信号的衰减，可测试载流子寿命。

设备特色

• 同时具备微波和脉冲激光激发载流子信号的检测方式。
• 可选择多种微波和激光光源，以匹配不同种类材料的测试需求。
• 兼容非接触和接触式测试，配备各类非接触探头和接触式探针模块。
• 非接触霍尔测试模块和微波光电导模块共用微波模块，具备更高的集成度。
• 可实现载流子迁移率、寿命和浓度的自动化测试和拟合分析，并具备一定的缺陷能级分析能力。
• 可测试2-8寸晶圆样品和26x26mm以下方形、矩形以及不规则样品的测试。
• 可自动生成检测报告，提供单点和扫描测试多种结果。
• 提供标样和定期标定服务，保证测试结果的准确性。

技术规格